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半導(dǎo)體制造工藝

半導(dǎo)體相關(guān)制造流程

積水化學(xué)的電子材料戰(zhàn)略室可以提供很多膠帶/膜/微粒子/塑封材料。針對(duì)精細(xì)排線·高密度設(shè)計(jì)·3D實(shí)裝·薄膜化等日益高漲的最先端需求,以粘結(jié)著控制·均一微粒子合成·薄膜涂工·精密多層擠出等為核心技術(shù),提供多種成熟的解決方案。

晶圓/晶片制造工藝

封裝基板制造工藝

1+2封裝工藝

晶圓/晶片制造工藝相關(guān)產(chǎn)品

我們提供多種有助于提高各種半導(dǎo)體裝置(如邏輯半導(dǎo)體、存儲(chǔ)器半導(dǎo)體和功率半導(dǎo)體)的性能和制造良率的工藝材料。我們不僅為CMP和封裝等“晶圓平坦化”工序中使用的研磨墊設(shè)計(jì)了適配度高的雙面膠帶;還提供一款容器,可以將制程中所需各種藥品安全清潔地送達(dá)Fab各處;以及廣泛用于FanOut、2.5D/3D結(jié)構(gòu)等先進(jìn)封裝以及功率半導(dǎo)體等工藝,兼具耐熱性、耐藥性的UV剝離膠帶“SELFA™系列”等。

產(chǎn)品
分類(lèi)
產(chǎn)品名 特征
UV易剝離膠帶 單面 耐熱UV膠帶
【SELFA™ HS】
結(jié)合了耐半導(dǎo)體工藝特性+低殘膠的UV剝離膠帶。在各種PKG制造過(guò)程中可保護(hù)器件表面并抑制翹曲。 產(chǎn)品情報(bào)
UV易剝離膠帶 雙面 耐熱UV膠帶
【SELFA™ HW】
結(jié)合了耐半導(dǎo)體工藝特性+低殘膠的UV剝離膠帶。用于玻璃乘載工藝時(shí),保持高平坦度且兼顧操作使用時(shí)的安全。 產(chǎn)品情報(bào)
UV易剝離膠帶 單面 耐藥性易剝離UV膠帶
【SELFA™ MP】
具有高耐化學(xué)性和低殘留性的UV剝離膠帶;透過(guò)UV照射產(chǎn)生氣體,剝離時(shí)可減少對(duì)設(shè)備的損傷。 產(chǎn)品情報(bào)
膠帶 液晶玻璃基板?CMP?HD基板
【研磨布固定用雙面膠帶】
具有高耐化學(xué)性的膠帶,剝離后不會(huì)有粘合劑殘留。用于在電子設(shè)備的拋光過(guò)程中固定研磨布。寬度2450毫米,適用于CMP工藝應(yīng)用。 產(chǎn)品情報(bào)
容器 潔凈瓶 使用金屬離子溶出極少的樹(shù)脂原料制成的清潔瓶。在粒子管理的潔凈環(huán)境中制造,為最終產(chǎn)品的品質(zhì)穩(wěn)定做出了貢獻(xiàn)。在以半導(dǎo)體領(lǐng)域?yàn)榇淼母鞣N高純度藥液的輸送方面已被采用。 產(chǎn)品情報(bào)

封裝基板制造工藝相關(guān)產(chǎn)品

在先進(jìn)封裝中,基板及其周邊材料的技術(shù)革新至關(guān)重要。我們憑借獨(dú)有技術(shù),為封裝工藝的進(jìn)化提供先進(jìn)的材料支持。我們提供具有低損耗,高可靠性的FCBGA用絕緣增層膜(Build-Up Film);有助于提高FCBGA良率和可靠性的液態(tài)阻焊膜保護(hù)膜;以及能形成數(shù)十微米級(jí)別3D結(jié)構(gòu)/圖案的Inkjet噴墨材料等。

… 環(huán)境友善產(chǎn)品

產(chǎn)品
分類(lèi)
產(chǎn)品名 特征
噴墨材料 設(shè)備封裝周邊的圖案形成/精密封裝用途
【高粘度Inkjet噴墨用油墨】
從粘合劑到擋墻材料一應(yīng)俱全的獨(dú)家研發(fā)的高性能材料。 可自由控制涂布形狀。 通過(guò)一站式開(kāi)發(fā)優(yōu)化印刷制程。 產(chǎn)品情報(bào)
用于制造積層板的層間絕緣膜
【熱固化型絕緣增層膜 NX/NQ】
傳輸損耗低,絕緣可靠性高。 產(chǎn)品情報(bào)
膠帶/膜 PKG基板製造時(shí) 保護(hù)表面油墨用的膠帶
【薄膜Masking Tape】
在潔凈環(huán)境下生產(chǎn)的膠帶,具有良好的粘附性,光學(xué)性能和易剝離性。 產(chǎn)品情報(bào)

封裝工藝相關(guān)產(chǎn)品

隨著半導(dǎo)體器件性能的高性能以及大尺寸化發(fā)展,翹曲和熱量管理等技術(shù)難題也隨之而來(lái)。為解決相關(guān)難題,我們提供通過(guò)添加到接合材料中展現(xiàn)間隙控制性能的各種微粒子產(chǎn)品,通過(guò)在硅樹(shù)脂中高密度填充和定向碳纖維,以及使其具有適度彈性和可變形性的高導(dǎo)熱墊片等。

… 環(huán)境友善產(chǎn)品

產(chǎn)品
分類(lèi)
產(chǎn)品名 特征
微粒子?填料 樹(shù)脂系微粒子 Micropearl™ 具有均一粒徑分布的塑料粒子。兼具穩(wěn)定性、柔韌性、反彈性等特性的高功能填料??捎米髅鎯?nèi)間隔材料、應(yīng)力緩沖材料、凹凸成型材料等。 產(chǎn)品情報(bào)
微粒子?填料 金屬鍍層微粒子 Micropearl™ 在具有均一粒徑分布的塑料粒子表面電鍍各種金屬后,可作為高性能導(dǎo)電填料使用。依靠獨(dú)特的制造技術(shù),也可控制硬度。此外,兼具低比重、高分散性、低電阻、高柔韌性等特性,可作為獨(dú)一無(wú)二的高性能輕量填料加以應(yīng)用。 產(chǎn)品情報(bào)
UV易剝離膠帶 單面 耐熱UV膠帶
【SELFA™ HS】
結(jié)合了耐半導(dǎo)體工藝特性+低殘膠的UV剝離膠帶。在各種PKG制造過(guò)程中可保護(hù)器件表面并抑制翹曲。 產(chǎn)品情報(bào)
UV易剝離膠帶 雙面 耐熱UV膠帶
【SELFA™ HW】
結(jié)合了耐半導(dǎo)體工藝特性+低殘膠的UV剝離膠帶。用于玻璃乘載工藝時(shí),保持高平坦度且兼顧操作使用時(shí)的安全。 產(chǎn)品情報(bào)
UV易剝離膠帶 單面 耐藥性易剝離UV膠帶
【SELFA™ MP】
具有高耐化學(xué)性和低殘留性的UV剝離膠帶;透過(guò)UV照射產(chǎn)生氣體,剝離時(shí)可減少對(duì)設(shè)備的損傷。 產(chǎn)品情報(bào)
散熱相關(guān)產(chǎn)品 超導(dǎo)導(dǎo)熱墊片
【MANION™系列】
利用磁場(chǎng)排向技術(shù)生產(chǎn)的高熱傳導(dǎo)率碳纖維,同時(shí)實(shí)現(xiàn)柔軟性和密著性的一種散熱墊片。 產(chǎn)品情報(bào)

關(guān)聯(lián)詞

BG

晶片背面減薄(Back Grinding,BG)是半導(dǎo)體制造后工藝中的一道工序,在前工序中將電路圖案形成在晶片表面后,通過(guò)從背面薄薄地磨削晶片的過(guò)程。BG膠帶是這一工序中不可或缺的材料,除了膠帶外,還有蠟和粘合劑等。隨著近年來(lái)半導(dǎo)體工藝的復(fù)雜化,對(duì)BG膠帶的耐熱性和耐化學(xué)性等提出了更高的要求。

相關(guān)頁(yè)面:UV剝離膠帶【SELFA™】

BGA

球柵陣列封裝(Ball Grid Array,BGA),是IC晶片封裝方式的一種。因?yàn)樵摲椒ㄊ窃诨宓谋趁姘搓嚵蟹绞街谱鞒銮蛐瓮蛊鹱鳛橐_,引腳不會(huì)超出封裝范圍,非常適合產(chǎn)品小型化。

BU Film

絕緣增層膜(Build-Up Fill,BU Fill)是在半導(dǎo)體封裝階段,用作連接半導(dǎo)體芯片和主板時(shí)所需要的,可滿足更精細(xì)的布線需求的絕緣性膜材。隨著電子設(shè)備的布線變得更加精細(xì)并且通信變得更快,需要保持較低的傳輸損耗。另外,隨著器件變得更薄,需要材料兼具抑制更薄基板翹曲的功能。

相關(guān)頁(yè)面:熱固化型絕緣增層膜 NX04H, NQ07XP

Dam-fill

擋墻填充工藝(Dam-Fill)材料是用于芯片封裝或CSP/BGA的外周等位置形成尖銳擋墻的絕緣材料,其目的在與控制芯片粘合時(shí)的粘合劑流動(dòng)性和控制Underfill材料不會(huì)使其溢出所需范圍。該材料具有優(yōu)異的成型性,是一種實(shí)現(xiàn)降低PKG翹曲的可靠性材料。

相關(guān)頁(yè)面:高粘度Inkjet噴墨用油墨

Dicing

晶圓切割(Dicing)是半導(dǎo)體制造后工序中不可或缺的重要工序。它是將形成了電路的晶圓切割成一個(gè)個(gè)芯片尺寸并進(jìn)行分離的工序。切割方法有刀片法、激光法和等離子法等。雖然刀片法常被使用,但為了減少對(duì)芯片的機(jī)械損傷、應(yīng)對(duì)微小芯片的需求以及考慮到環(huán)境問(wèn)題,有時(shí)會(huì)選擇激光法和等離子法。

相關(guān)頁(yè)面:UV剝離膠帶【SELFA™】

Dry Etching

干法刻蝕(dry etching)是通過(guò)生成等離子體的離子和反應(yīng)氣體,物理地或通過(guò)化學(xué)反應(yīng)除去不需要的部分的干式方法。通常,干法蝕刻常指“反應(yīng)性離子蝕刻(RIE)”。干法蝕刻能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的形狀控制,并且無(wú)需廢液處理,因此廣泛應(yīng)用于制造工藝中。

Fan Out

扇出(Fan Out)是指在比硅芯片更大的面積上布線。使用這種技術(shù)的FOWLP(扇出晶圓級(jí)封裝)不是使用傳統(tǒng)的樹(shù)脂基板,而是在芯片周?chē)目臻g通過(guò)重新布線層(RDL,Redistribution Layer)配置多個(gè)I/O端子,能夠在提高布線密度的同時(shí)抑制封裝的厚度,實(shí)現(xiàn)高性能和薄型化。此外,由于其結(jié)構(gòu),還可以搭載多個(gè)硅芯片。

相關(guān)頁(yè)面:UV剝離膠帶【SELFA™】

FC-BGA

倒裝芯片球柵陣列(Flip Chip-Ball Grid Array,FC-BGA)基板是使用稱(chēng)為凸塊的球形端子,將芯片連接到超薄基板上并進(jìn)行封裝的高密度半導(dǎo)體封裝基板,可實(shí)現(xiàn)LSI芯片的高速化和多功能化。它具有告訴處理信息處理的能力和優(yōu)異的散熱性能,廣泛應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、服務(wù)器和網(wǎng)絡(luò)設(shè)備等領(lǐng)域。

相關(guān)頁(yè)面:熱固化型絕緣增層膜 NX04H, NQ07XP

Filler

填料(Filler)是為樹(shù)脂等材料賦予各種功能而添加的填充材料。它指的是微小的顆粒或粉末。通過(guò)將具有導(dǎo)熱性或?qū)щ娦缘榷喾N功能的填料復(fù)合到樹(shù)脂中,形成填料復(fù)合材料,廣泛應(yīng)用于從智能手機(jī)到飛機(jī)的各種領(lǐng)域。

相關(guān)頁(yè)面:散熱相關(guān)產(chǎn)品

Flux

助焊劑(Flux)是一種用于半導(dǎo)體制造中焊接工藝的化學(xué)品。它用于去除金屬表面的氧化物和雜質(zhì),并改善焊接的潤(rùn)濕性。隨著近年來(lái)對(duì)精簡(jiǎn)工藝的需求不斷增加,對(duì)高性能助焊劑的關(guān)注也在上升。

FPC

柔性印刷電路板(Flixible Printed Circuits,F(xiàn)PC)是在聚酰亞胺等基底膜上粘貼銅箔等導(dǎo)電金屬并形成電路的基板,通常稱(chēng)為“柔性印刷電路板”。與剛性基板的硬板狀不同,它非常薄且重量輕,具有出色的柔韌性,可彎曲,因此可以安裝在電子設(shè)備內(nèi)部的彎曲部位、立體布局和狹窄的空間中。隨著小型化、輕量化、薄型化的發(fā)展,它已被廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、液晶電視等各類(lèi)電子設(shè)備中。

GWSS

GWSS(Glass Wafer Support System)是積水化學(xué)公司提出的一種臨時(shí)固定材料(Temporary Bonding De-Bonding material, TBDB material),旨在解決極薄化半導(dǎo)體在搬運(yùn)時(shí)破裂或破損、極薄晶圓的翹曲等問(wèn)題。積水化學(xué)使用獨(dú)自開(kāi)發(fā)的UV照射自剝離型膠帶“SELFA™”來(lái)實(shí)現(xiàn)了GWSS。為滿足最尖端半導(dǎo)體的臨時(shí)固定需求,積水化學(xué)持續(xù)研發(fā)以提高膠帶的耐熱性和耐化學(xué)性能,

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HBM

高帶寬內(nèi)存(High Bandwidth Memory, HBM)高帶寬內(nèi)存是一種由JEDEC標(biāo)準(zhǔn)化的內(nèi)存規(guī)范,基于硅通孔(TSV)技術(shù)的裸片堆疊。與用于計(jì)算機(jī)的傳統(tǒng)DRAM(動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)相比,它能夠處理一次大量的數(shù)據(jù)。它利用比傳統(tǒng)DRAM快10到100倍的數(shù)據(jù)傳輸速度,應(yīng)用于GPU(圖形處理單元)、HPC(高性能計(jì)算)和AI(人工智能)等領(lǐng)域。

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Molding

模塑(Molding)是使用熱固性樹(shù)脂等材料,在粘合工序后的芯片上進(jìn)行包埋,以保護(hù)其免受外部沖擊、溫度變化、濕氣等影響的半導(dǎo)體工序。模塑工藝包括將樹(shù)脂注入并流入模具的傳遞模塑和將融化的樹(shù)脂浸入模具成型的壓縮模塑。

PoP

PoP(Package on Package)是一種在半導(dǎo)體封裝之上堆疊另一個(gè)半導(dǎo)體封裝的裝配方法。通過(guò)堆疊半導(dǎo)體封裝,可以最大化利用有限的空間,成為實(shí)現(xiàn)高功能化和小型薄型化的技術(shù)。由于可以將需要數(shù)據(jù)交換的封裝靠近,因此可以進(jìn)一步提高速度,這項(xiàng)技術(shù)在近年來(lái)迅速發(fā)展,主要應(yīng)用于移動(dòng)設(shè)備和消費(fèi)類(lèi)電子產(chǎn)品中。

TIM

導(dǎo)熱界面材料(Thermal Interface Material,TIM)是一種熱導(dǎo)材料,能夠?qū)㈦娮釉O(shè)備產(chǎn)生的熱量高效傳遞至冷卻設(shè)備。這使得半導(dǎo)體設(shè)備的熱管理成為可能,從而維持其性能和可靠性。

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TSV

TSV(硅通孔)是指在硅中介層或半導(dǎo)體芯片中形成的貫穿電極,填充銅后成為電極。通過(guò)具有TSV結(jié)構(gòu),可以堆疊芯片,實(shí)現(xiàn)通過(guò)最小化安裝面積和布線的小型化、高性能化和省電化。

相關(guān)頁(yè)面:UV剝離膠帶【SELFA™】

Underfill

底部填充樹(shù)脂(Underfill)是用于封裝集成電路的液態(tài)熱固性樹(shù)脂。它是一種粘合劑,用于保護(hù)電子基板和電子元件的連接部分,如焊接點(diǎn)不受沖擊和熱量影響。要求具有耐沖擊性和返工性等性能。

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Wafer

晶圓(Wafer)是制造半導(dǎo)體器件的材料。它是通過(guò)高度控制成分的單晶硅材料制成的圓柱形錠子,并切割成薄片的圓盤(pán)形板。